Etude de la fiabilité d'un microcapteur anemometrique en technologie MEMS

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Date

2009-12-03

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Université Mouloud Mammeri

Abstract

Description

81 f. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom)

Keywords

Microcapteur, Microsystèmes et fiabilité : défauts, Technologie MEMS : Technique de fabrication, Fiabilité de l'anémométre à fil chaud

Citation

Option : Microélectronique