Etude de la fiabilité d'un microcapteur anemometrique en technologie MEMS
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Date
2009-12-03
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Université Mouloud Mammeri
Abstract
Description
81 f. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom)
Keywords
Microcapteur, Microsystèmes et fiabilité : défauts, Technologie MEMS : Technique de fabrication, Fiabilité de l'anémométre à fil chaud
Citation
Option : Microélectronique