Etude de l'éffet couronne sur le silicium multicristallin
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Date
2009
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Université Mouloud Mammeri
Abstract
Description
95 f. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom)
Keywords
Plasma, Silicium multicristallin : Propriétés : Traitement : Application
Citation
Option : Microélectronique