Etude et modélisation des décharges radiofréquences basse pression à couplage capacitif

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dc.contributor.authorKasri, Salima
dc.date.accessioned2019-05-16T09:30:59Z
dc.date.available2019-05-16T09:30:59Z
dc.date.issued2012
dc.description69 f. : ill. ; 30cm+(CD-ROM)en
dc.identifier.urihttps://dspace.ummto.dz/handle/ummto/2518
dc.language.isofren
dc.publisherUMMTOen
dc.subjectEquation de Boltzmannen
dc.subjectDifférences finiesen
dc.subjectPlasmas d’argonen
dc.subjectDécharge luminescente RFen
dc.titleEtude et modélisation des décharges radiofréquences basse pression à couplage capacitifen
dc.typeThesisen

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