Sidi Said, Amel2017-03-292017-03-292009-12-03Option : MicroélectroniqueMAG.ELN.64-09https://dspace.ummto.dz/handle/ummto/66581 f. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom)frMicrocapteurMicrosystèmes et fiabilité : défautsTechnologie MEMS : Technique de fabricationFiabilité de l'anémométre à fil chaudEtude de la fiabilité d'un microcapteur anemometrique en technologie MEMSThesis