Etude de l’effet de la température et de la durée de diffusion du phosphore à partir des couches PSG sur la jonction PN.
| dc.contributor.author | Mekious Saliha | |
| dc.contributor.author | Oumohand Ziad | |
| dc.date.accessioned | 2025-04-15T11:03:35Z | |
| dc.date.available | 2025-04-15T11:03:35Z | |
| dc.date.issued | 2023 | |
| dc.description | 80p .; ill .; 30cm (CD-ROM) | |
| dc.description.abstract | Dans ce travail, nous avons étudié l'effet de la température et de la durée de diffusion du phosphore à partir des couches PSG sur la jonction n+. Cela se fait en utilisant un four à tube de quartz, des plaquettes de silicium multi-cristallin de type « p » et des sources de préforme comme source de phosphore. Nous avons caractérisé nos échantillons par diverses techniques de caractérisation tel que :- Les mesures de la durée de vie de nos échantillons par la technique QSSPC. - Les mesures électriques pour la détermination des propriétés électriques de nos échantillons par les techniques "pointe chaude", "quatre pointes" et "Effet Hall". - Informations moléculaires et nature chimique de nos échantillons analysés par spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier (FTIR). | |
| dc.identifier.citation | Microélectrnique | |
| dc.identifier.other | MAST.ELN.70-23 | |
| dc.identifier.uri | https://dspace.ummto.dz/handle/ummto/27260 | |
| dc.language.iso | fr | |
| dc.publisher | FGEI.UMMTO | |
| dc.subject | Diffusion | |
| dc.subject | Pré-dépôt | |
| dc.subject | PSG | |
| dc.subject | Drive-in | |
| dc.subject | FTIR | |
| dc.subject | QSSPC | |
| dc.title | Etude de l’effet de la température et de la durée de diffusion du phosphore à partir des couches PSG sur la jonction PN. | |
| dc.type | Thesis |