Développement d’un modèle électromagnétique sans charge d’une cathode magnétron en vue de sa caractérisation
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Date
2015
Authors
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Publisher
Université Mouloud Mammeri
Abstract
Les traitements de surface sont des techniques de revêtement qui ont été utilisées depuis longtemps (dorure de l’antiquité) et ils se sont progressées en fur et à mesure de développement technologique (dépôt sous vide XXe siècle). Le traitement de surface permet d’apporter des propriétés chimiques, mécaniques, optiques, magnétiques et autres plus meilleures que le matériau de base (matériau substrat). Le dépôt sous vide regroupe plusieurs techniques, dont la plus communément utilisée dans l’industrie est le dépôt physique en phase vapeur « Physical Vapor Deposition ». Il y’a deux grandes familles dans le dépôt par PVD ; le dépôt par pulvérisation cathodique et le dépôt par évaporation. Le présent mémoire présente une étude sur l’un des composants d’un système de pulvérisation cathodique qui les cathodes magnétron. Un modèle électromagnétique sans charge d’une cathode magnétron a été développé.
Description
119 f. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom)
Keywords
Electromagnétisme, Entrainements Electriques, Dépôt physique en phase vapeur (PVD), Dépôt chimique en phase vapeur, Pulvérisation cathodique, Cathode magnétron, Plasma, Ansys Maxwell.
Citation
Entrainements Electriques